氦質(zhì)譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術(shù)語(yǔ)，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過(guò)漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到僅對氦氣反應的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質(zhì)譜檢漏儀主要由分子泵、質(zhì)譜室、質(zhì)量分析器、離子檢測器等組成。其核心部件包括離子源、質(zhì)量分析器和離子檢測器。
氦質(zhì)譜檢漏儀廣泛應用于工業(yè)生產(chǎn)、科研實(shí)驗、航空航天等領(lǐng)域。具體應用包括：
電廠(chǎng)：用于冷凝器、熱交換器、蒸汽發(fā)生器、管道等設備的密封性檢測。
科研：實(shí)驗裝置、微電子、表面分析系統、空間模擬系統等設備的密封性檢測。
工業(yè)：超高真空工程、壓力容器、鍍膜系統、真空爐等設備的密封性檢測。
汽車(chē)制冷：蒸發(fā)器、管道、空調等設備的密封性檢測。
航空航天：航天器、管道、空間模擬器等設備的密封性檢測。
半導體及電子：氣路、氣路傳輸設備、電子元器件、封裝、工藝設備等設備的密封性檢測
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