2023.08.03
分子泵的清洗非常重要，如果前級泵沒(méi)有問(wèn)題，而真空在規定的時(shí)間內沒(méi)有達到規定的真空度，如果排除真空系統漏氣或真空控體虧染嚴重等原因.在對泵長(cháng)時(shí)間烘烤后仍不能灰復其真空性能，則斷定泵已被污染，必須對泵進(jìn)行清洗。
分子泵的清洗分為直接進(jìn)行清洗和拆卸清洗，前者適用于內部不太臟，后者用于內部嚴重臟化。其方法如下:
(1)關(guān)掉分子泵，進(jìn)行排氣。
(2)從設備上小心卸下分子泵，注意不要碰到接口的邊緣部分，以免影響密封性。
(3)卸下冷卻器、潤滑油包等。
(4)將分子泵的高真空接口朝下，垂直地放人一個(gè)盛有無(wú)水酒精的容器中，液面高度略低于前級真空接口。
(5)上下活動(dòng)分子泵幾次，便于分子泵的定子和轉子的葉片清洗。換掉無(wú)水酒精，加人新的無(wú)水酒精，*少要重復一次。每次在無(wú)水酒精中浸泡大概5~10min。
(6)取出分子泵，將高真空接口朝上，再緩慢放平，以便排出磁性軸承中的酒精。
(7)用一個(gè)網(wǎng)格放在高真空接口上，然后朝下放置30min以上，排出清洗酒精，注意接口的密封表面不要損傷。
(8)接上前級真空泵，在關(guān)閉分子泵的情況下，利用前級泵抽真空，使真空度達到大概10^-1Pa左右，以便*清除分子泵中殘留的無(wú)水酒精。
(9)因前級真空泵中有酒精，需更換前級泵真空油。
(10)接上分子泵開(kāi)始工作，因為經(jīng)過(guò)處理后，分子泵中仍有殘留的酒精存在，因此*一次抽真空比較慢，屬于正常情況。
潽拓光電建議分子泵的清洗還是由指定的維修中心zhuan業(yè)人員拆泵和清流。避免操作不當損壞設備！
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