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  質(zhì)譜檢漏儀是一種利用質(zhì)譜技術(shù)檢測泄漏的儀器，根據帶電粒子在電磁場(chǎng)中偏轉的原理，按物質(zhì)原子、分子或分子碎片的質(zhì)量差異進(jìn)行分離和檢測。‌ 質(zhì)譜檢漏儀按應用范圍分為同位素質(zhì)譜儀、無(wú)機質(zhì)譜儀和有機質(zhì)譜儀，按分辨本領(lǐng)分為高分辨、中分辨和低分辨質(zhì)譜儀，按工作原理分為靜態(tài)儀器和動(dòng)態(tài)儀器。

質(zhì)譜檢漏儀的保養注意事項

    1、如果儀器不是每天使用，建議每周開(kāi)機檢查一下，使儀器高真空系統保持真空，縮短儀器使用時(shí)的開(kāi)機時(shí)間

    2、拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時(shí)要避免安裝部位出現泄漏，可用儀器進(jìn)行自身檢漏。

    3、適時(shí)對儀器可能出現的泄漏處（如放氣閥等）進(jìn)行自身檢漏，發(fā)現漏點(diǎn)后要及時(shí)取下清洗或固緊，以免在檢漏時(shí)干擾檢漏工作。

    4、檢漏儀維修每隔一段時(shí)間保養油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）

    5、禁止*何外來(lái)物掉在或灑在檢漏儀上，尤其是進(jìn)氣口中，由于氦檢漏儀為高精度精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛生。只有經(jīng)過(guò)培訓或有資格的設備維護工程師，才能使用此儀器。

6、使用時(shí)，注意觀(guān)察儀器的運行情況，一旦發(fā)現問(wèn)題（如較大振動(dòng)、高噪音等），儀器在運行過(guò)程中不能移動(dòng)。渦輪分子泵處于高速運轉中，若搬動(dòng)檢漏儀，容易使分子泵內的葉片與轉子的筒體相碰撞。馬上切斷電源，并排除故障。