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廣州潽拓光電科技有限公司

渦輪分子泵工作原理和應用

2024.09.26

渦輪分子泵是利用高速旋轉的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子,使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)而抽氣的真空泵。
  渦輪分子泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動(dòng)快,能抗各種射線(xiàn)的照射,耐大氣沖擊,無(wú)氣體存儲和解吸效應,無(wú)油蒸氣污染或污染很少,能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能加速器、可控熱核反應裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中。

渦輪分子泵結構組成
渦輪分子泵主要由泵體、帶葉片的轉子(即動(dòng)葉輪)、靜葉輪和驅動(dòng)系統等組成。

渦輪分子泵工作原理
主要有立式和臥式兩種。

渦輪分子泵特點(diǎn)
抽速大、無(wú)油、啟動(dòng)快、無(wú)油污染、維護簡(jiǎn)單
工作范圍:清潔的低真空~中、高真空,大氣~超高真空
ji限真空:10-6/ 10-10torr
缺點(diǎn):結構復雜、對軸承耐磨程度要求高、制造成本高