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  渦輪分子泵利用高速旋轉的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)而抽氣。其結構主要由轉子和定子組成，通過(guò)連續開(kāi)啟增加壓縮效果的多個(gè)泵級，可以獲得高達10^-13的壓縮比‌。渦輪分子泵油污染問(wèn)題的維修方法主要包括以下幾種‌：

1.‌更換渦輪分子泵‌：如果渦輪分子泵已經(jīng)使用了很長(cháng)時(shí)間，或者油污染嚴重，可能需要更換新的渦輪分子泵。這通常是Z直接的解決方案‌。

2.清洗渦輪分子泵‌：如果渦輪分子泵仍在保修期內，或者維修成本相對較低，可以考慮進(jìn)行清洗。清洗過(guò)程包括拆卸泵體，清除內部的油污和雜質(zhì)，然后重新組裝并測試‌。

3.檢查和維護‌：為了防止渦輪分子泵再次出現油污染問(wèn)題，建議定期檢查和維護渦輪分子泵。這可能包括更換潤滑油、清潔過(guò)濾器、檢查密封性等‌