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分子泵過(guò)載故障的主要原因包括以下幾種‌：
1.    ‌顆粒堆積‌：分子泵在使用過(guò)程中會(huì )受到氣體分子的撞擊和吸附，形成顆粒。如果這些顆粒沒(méi)有及時(shí)清理，會(huì )逐漸堆積在泵內壁上，導致泵的性能降低，Z終可能導致過(guò)載停機‌。
2.    ‌泵內漏氣‌：分子泵在使用過(guò)程中可能會(huì )出現漏氣問(wèn)題，導致泵內氣體壓力升高，增加泵的負載，從而引發(fā)過(guò)載停機‌。
3.    電源與電機故障‌：電源未接通、保險絲熔斷、電源開(kāi)關(guān)損壞、電源故障、電機過(guò)載、過(guò)熱、斷路或短路等問(wèn)題，都可能導致分子泵無(wú)法正常工作‌。
4.    ‌控制系統問(wèn)題‌：控制器故障、通信連接問(wèn)題、啟動(dòng)命令未回復等，都可能導致分子泵無(wú)法正常工作‌。
5.    ‌泵體溫度過(guò)高‌：長(cháng)時(shí)間運轉后，泵體溫度升高，可能是由于散熱系統出現問(wèn)題，如散熱風(fēng)扇故障或通風(fēng)口堵塞‌。