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DL-10A的校準曲線(xiàn)如下所示：▲DL-10A校準曲線(xiàn)橫坐標是中國計量院科學(xué)院測量標準值，氣樣是氮氣?？v坐標是DL-10A顯示值。DL-10A的下限決定于Z0隨時(shí)間漂移帶來(lái)的誤差。它主要決定于晶振的結構以及環(huán)境溫度的變化。PART 02石英真空計性能

●石英真空計的精度較高，用音叉結構的晶振安裝在穩定溫度的金屬柱上，在0.01Pa~105Pa之間測量誤差為±10%。在真空計上限附近，即接近大氣壓經(jīng)過(guò)調整后誤差較小可做到3%。隨著(zhù)壓強的減小，誤差會(huì )增大。在真空計的下限誤差較大。

▲DL-10A在中國計量科學(xué)院校準氮氣結果

●石英真空計讀數與氣體種類(lèi)有關(guān)，不同氣體的相對壓強讀數也不同。下圖采用的基準氣體為氮氣，測量不同氣體時(shí)，應對該氣體進(jìn)行修正?！煌瑲怏w的壓強讀數

●環(huán)境溫度的變化會(huì )影響石英真空計的讀數，在高壓強不會(huì )引起很大誤差，但在接近下限，會(huì )引起很大的誤差。這主要體現在晶體的固有阻抗Z0隨溫度變化。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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為解決持續變動(dòng)的市場(chǎng)的需求，該系列產(chǎn)品非常近新增加了大量選零配件。先前，該系列產(chǎn)品真空泵規僅配置RS-485插口，而如今，還裝有工業(yè)生產(chǎn)千兆以太網(wǎng)Profinet和EtherCAT。與傳統式計算機接口對比，他們具備數據信息傳輸速度極高、連接機器設備顯著(zhù)大量的優(yōu)勢，因此可以協(xié)助公司加快完成工業(yè)生產(chǎn)4.0總體目標。ProfiNet和EtherCat插口除此之外，除開(kāi)先前選用模擬輸出的版本號，現還裝有電容傳感器真空泵規CCT。

該真空計有著(zhù)不會(huì )受到汽體類(lèi)型危害和測量精度高的優(yōu)點(diǎn)，并可用以表層的鍍膜全過(guò)程的準確過(guò)程控制、低溫干燥或校正試驗室。電容傳感器真空泵規CCT靠譜的瓷器技術(shù)性元器件具備良好的有機化學(xué)耐心和非常低的零點(diǎn)誤差?，F階段，有溫度補償型和45℃加溫型二種規格型號可挑選 。

電容傳感器真空泵規CCT超濾裝置或是機械泵調節時(shí)常常必須查詢(xún)機械泵的真空值，每一個(gè)調試工程師都期待有一款便攜式精巧而且結實(shí)耐用的真空計。為達到這類(lèi)要求，inficon公布了一款攜帶式的真空計套服inficon?，F階段正限營(yíng)銷(xiāo)，價(jià)稅合計5000元套。套服包含：數字萬(wàn)用表尺寸的便攜式控制板，根據可伸縮式銅線(xiàn)聯(lián)接的真空泵規管，也有便捷帶上的迷你型行里箱。

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依照真空計測量基本原理所利用的差異的物理學(xué)體制，可將具體的真空計分成三大類(lèi)，分別是利用物理性能，利用汽體動(dòng)力學(xué)模型和利用自由電子作用的真空計。利用物理性能的真空計典型性的有波爾登規（Bourdon）和薄膜電容規；利用汽體結構力學(xué)效用的典型性真空計有皮拉尼(Pirani)電阻器規和電加熱偶規；利用自由電子作用的典型性真空計有熱陰極水解規和冷陰極電離規。

1、波爾登規（Bourdon）2、薄膜電容規3、皮拉尼規4、熱電阻規5、熱陰極水解規6、冷陰極水解規

真空計原理、工作中特點(diǎn)及應用熱偶真空計是運用熱電阻的電勢差與加溫部件的溫度相關(guān)，元器件的溫度又與氣體的導熱相關(guān)的基本原理來(lái)準確測量真空值的真空計。熱偶真空計原理熱電阻真空計的結構如下圖1所顯示，氣體分子結構擔負的導熱量與氣體壓強正相關(guān)是熱電阻真空計的原理。

熱電阻真空計的結構圖金屬材料圓桶內部結構配有一根燈絲，兩邊聯(lián)接電級，插電后燈絲會(huì )發(fā)燙。燈絲的卡路里會(huì )根據氣體分子結構撞擊燈絲、輻射熱和固態(tài)導熱等方法被搶走。設單位時(shí)間內以以上三種方法搶走的發(fā)熱量各自為Qg、Qr、Qs，則平衡狀態(tài)下下列公式計算創(chuàng )立：式中Q———單位時(shí)間燈絲釋放的發(fā)熱量；R———燈絲的電阻器；I———燈絲的電流量。

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