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廣州潽拓光電科技有限公司——inficon英?？嫡婵沼嫳ｐB拆解氦質(zhì)譜檢漏儀維修

氦質(zhì)譜檢漏法利用氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓測量原理，測量被試件的氦泄漏量。如果被測零件的密封表面有泄漏，則表明泄漏的氦氣和其他氣體已從泄漏處排出。泄漏氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜儀泄漏檢測器后，由于其選擇性檢測能力，僅顯示氣體中的氦分壓信號值。在獲得氦氣信號值的基礎上，可以通過(guò)比較標準泄漏孔來(lái)獲得氦氣從泄漏孔的泄漏量。

根據泄漏檢測過(guò)程中顯示的泄漏氣體位置與被測對象之間的不同關(guān)系，氦質(zhì)譜泄漏檢測方法可分為真空法、超壓法、真空壓力法和背壓法。綜述了這四種氦質(zhì)譜檢漏方法的檢測原理。優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)以及測試標準。

氦氣易于彌散，且分子尺寸小，能夠滲透到被測物體內或漏出到外界。因此，在使用氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí)，將被檢測物體充入氦氣，并利用泄漏口外的吸氣探頭來(lái)探測泄漏氣體中的氦氣，通過(guò)光電倍增管檢測氦氣的信號強度，判斷是否存在泄漏。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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在真空表中受大氣作用力引起應變元件的是彈性金屬管，在膜盒真空計中是彈性薄膜。膜盒真空計的結構原理如圖 4-2 所示。膜盒真空計中，有一個(gè)由應變膜和玻璃外殼構成的一個(gè)密封盒，盒內的氣體壓力已預先抽至0.1Pa 以下，作為參考壓力，指針與聯(lián)動(dòng)機構安放在玻殼內。當待測壓力變化時(shí)，應變膜上感受到不同的力，這樣就能讀出不同的讀數。

INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BPG400型復合真空計將兩種真空計的功能融合到一個(gè)緊湊的裝置中，測量范圍從 5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）

由于這種真空計的參考壓力是0.1Pa，這就為測量較低的壓力提供了可能。其測量范圍為0~10Pa。根據其不同的型號，可細分為0~2500Pa0~2.5X10'Pa和0~105Pa。這種真空計不受大氣壓值的影響，一般精度為滿(mǎn)刻度值的士1%，可廣泛地用于激光器件的研制和生產(chǎn)單位。

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廣州潽拓光電科技有限公司——inficon英?？嫡婵沼嫳ｐB拆解皮拉尼真空計維修

廣州潽拓光電科技有限公司是進(jìn)口真空泵供應商,為客戶(hù)24小時(shí)提供技術(shù)支持及售后維保服務(wù)，包括磁懸浮分子泵、高真空分子泵、分子泵、隔膜真空泵、渦旋分子泵，渦輪分子泵、超高真空泵、復合分子泵等。

 皮拉尼真空計測量范圍一般為5x10-4~1000mbar。一般用于各種高真空泵的前級壓力測量，如光伏、鍍膜、等離子行業(yè)等，也用于各種中低真空測量。

使用氦質(zhì)譜檢漏儀必須注意以下幾點(diǎn)：

不要隨意拔出配管：氦質(zhì)譜檢漏儀處于加壓狀態(tài)，禁止拔出連接儀器和減壓閥之間的配管接頭。不然大量的壓縮空氣被吹出，會(huì )對人體有害。不得擠壓：不得cai踏儀器或坐在儀器上，不得將其它物品放置在儀器上。

如何選擇檢漏方法

一般根據被檢測產(chǎn)品時(shí)間、使用工況來(lái)選擇檢漏方法，氦檢漏設備盡可能模擬被檢件實(shí)際工作環(huán)境才能:

大程度保證檢測可靠性，具體實(shí)施方案可與廠(chǎng)家溝通

氦質(zhì)譜檢漏是以氦作探索氣體，對各種需密封的容器的漏隙進(jìn)行快速定位和定量檢測的理想方法。

氦質(zhì)譜檢漏法有優(yōu)點(diǎn)在于：氦是惰性氣體，對大氣無(wú)污染，使用安全；氦原子質(zhì)量小，黏度小，易滲透過(guò)可能存在的漏隙。氦氣在大氣中含量?。?ppm），不易受干擾。氦質(zhì)譜檢漏儀檢測靈敏度高，充氣柜真空箱測漏系統，速度快，適用范圍廣。

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