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 表征壓力控制儀的主要技術(shù)指標是壓力控制范圍、控制精度、流量控制范圍、反應時(shí)間等。它取決于其配用的真空規管、控制電路及真空調節閥的性能。壓力控制儀廣泛應用于離子注入、離子束刻蝕、真空鍍膜、激光技術(shù)及半導體材料等領(lǐng)域，其使用的環(huán)境條件與同類(lèi)型的真空計大致相同。英?？嫡婵沼嫳ｐB

皮拉尼型真空計利用惠斯通電橋 Wheatstone bridge 的補償原理，其中的一燈絲作為該電路的其中一個(gè)電阻。當燈絲所在的氣體分子密度改變時(shí)，其熱導率會(huì )有所不同，因此燈絲所表現的溫度也會(huì )不同，間接影響電阻值的大小。固定電壓，固定電流以及固定溫度中以*后一種方法做敏感。值得注意的是，不同氣體的熱導率不同，因此在測量的時(shí)候要刻度上需要校對。英?？嫡婵沼嫳ｐB

2. 衍生出兩種類(lèi)型的皮拉尼規

1) 穩定溫度，測量施加的電壓變化等效測量真空度

2) 穩定電壓，測量溫度變化等效測量真空度（熱偶規）

3. 氣體的熱傳導，與下列提條件有關(guān):

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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　冷陰極電離真空計與熱陰極電離真空計一樣，是利用低壓力下氣體分子的電離電流與壓力有關(guān)的特性，用放電電流做為真空度的測量，由電流表CB(做為真空度指示儀表，一般用量程為o～100μA)指示出來(lái)。所不同的在于電離源。鹵素檢漏儀維修

鹵素檢漏儀是因為化學(xué)元素周期表里面有鹵族元素周期系ⅦA族元素。包括氟（F）、氯（Cl）、*（Br）、碘（I）、砹（At），簡(jiǎn)稱(chēng)鹵素，通常所說(shuō)的氟利昂含氟，檢漏儀又對氟起反應，所以叫鹵素檢漏儀，精度*好應該到5×10-7~08Pa·m3/s吧。有手持式和臺式的。鹵素檢漏儀維修

氦質(zhì)譜檢漏儀是由離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計、還有分子泵等組成，氦氣分子小，還比較活躍，屬于惰性氣體，不腐蝕設備，檢漏*率高，氦氣質(zhì)譜檢漏儀反應靈敏，精度高，可檢測到5×10-12Pa·m3/s。一般為臺式。鹵素檢漏儀維修

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分子泵維修是件非常zhuan業(yè)細致的工作，專(zhuān)心zhuan業(yè)的潽拓光電科技人，本著(zhù)全心全意的精神，為客戶(hù)提供盡善盡美的服務(wù)。有任何需要分子泵的客戶(hù)，歡迎聯(lián)系我們咨詢(xún)！

加熱電流失控，包括加熱電流過(guò)大無(wú)法調小或者加熱電流過(guò)小不能調大或無(wú)法調節。這種故障產(chǎn)生原因包括：調節晶體管擊穿（晶體管式）；調節晶體管與散熱器之間的絕緣破壞；加熱電流調節電位器一端斷路。維修方法：更換調節晶體管；檢修絕緣部分；根管電位器或檢修調節電位器電路。分子泵控制器維修中心

冷陰極電離計陽(yáng)極筒的兩端有一對陰極板，在外加磁場(chǎng)作用，陽(yáng)極筒內形成潘寧放電產(chǎn)生離子，根據陰極板收集的離子流的大小來(lái)測定氣體壓強的真空計。電阻真空計利用加熱元件的電阻與溫度有關(guān)，元件的溫度又與氣體傳導有關(guān)的原理，通過(guò)電橋電路來(lái)測量真空度的真空計。分子泵控制器維修中心

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