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jue對壓力計的讀數，是對被測壓力的氣體在單位面積上作用力的度量。根據氣體分子動(dòng)力理論，這種作用力只決定于單位體積內的分子數和它們的溫度,與氣體分子的質(zhì)量無(wú)關(guān),即jue對壓力計的讀數與氣體種類(lèi)無(wú)關(guān)。

薄膜電容真空計是一種全壓力真空計,其讀數與氣體種類(lèi)無(wú)關(guān)?？勺x測混有蒸氣的混合氣體，且具有結構簡(jiǎn)單的特點(diǎn)。雖然它在電子學(xué)方面是復雜的，但其機械上的簡(jiǎn)單結構和對任何環(huán)境的適應性，英?？嫡婵沼嬀S修中心，使它成為非常有用的真空計之一。薄膜電容真空計的zui小位移可以小至 1nm，因此由溫度變化引起部件的形變，就成為一個(gè)十分重要的問(wèn)題。為了能使真空計穩定地工作，要求膜片的熱膨脹系數與電極組件的熱膨脹系數能很好的匹配。英?？嫡婵沼嬀S修中心

薄膜電容規這種規的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度很高。缺點(diǎn)是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用，以消除溫度不同對膜片力學(xué)性能的影響，使用前一般需要預熱數小時(shí)。英?？嫡婵沼嬀S修中心

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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定電流式燈絲的溫度會(huì )隨著(zhù)真空壓力的變化而變化，由于燈絲為高電阻溫度系數材料，燈絲的溫度的改變會(huì )導致燈絲電阻值發(fā)生變化，以電阻電橋的感測方式來(lái)測定電阻的改變就可以證明出真空壓力的變化。

 參考感測頭有著(zhù)與感測頭極為相似的構造，但其內部已抽至相當高的真空狀態(tài)并加以密封，并盡可能接近于感測頭感測壓力的位置，有著(zhù)環(huán)境溫度補償的作用。電橋的另一邊按順序有著(zhù)一可變電阻R1和固定電阻R2。該電橋并聯(lián)與一電源上，并在兩個(gè)感應頭間和兩個(gè)電阻間接駁一個(gè)平衡電流表G。

真空計一般分為兩部分:

感應頭:多為金屬或者玻璃外殼，內有感測真空壓力的燈絲或者其他感溫元件。

控制頭:為感應頭提供必須的電路和做信號放大和信號數字化的工作。

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熱陰極電離規中，由熱陰極即燈絲發(fā)射電子，電離真空中的氣體分子，產(chǎn)生離子，由收集極收集產(chǎn)生的離子，形成離子電流，通過(guò)測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度，進(jìn)而得到氣壓大小。

熱陰極電離規這種規的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。

經(jīng)改進(jìn)后的熱陰極電離規，Bayard-Alpert規，可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。

由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同，這種規在使用時(shí)也需要在不同氣體下進(jìn)行標定。

背壓法檢測優(yōu)點(diǎn)：

1.    檢測靈敏度高

2.    可以進(jìn)行批量化檢測

吸qiang法檢測缺點(diǎn)：

1.    不能進(jìn)行大型密封容器的漏

2.    在細檢完成后還需要采用其它方法進(jìn)行粗檢，排除大漏的可能

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