廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫真空分子泵
安捷倫SH-110是業(yè)內的干式密封渦旋泵,可以方便地組裝到原始設備制造商(OEM)系統中。這種單級泵體積小巧, 抽速110升/分(頻率60Hz) ,極限壓力50 mtorr (0.07 mbar) ,許多終用戶(hù)應用的理想選擇。
SH-110泵符合歐盟(CE)、加拿大標準協(xié)會(huì )(CSA)和Semi S2-0200的要求。
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Agilent TV-301 Tubro渦輪轉子由永jiu潤滑的高精度陶瓷球軸承支撐,該軸承安裝在泵的前排側。定子的靜葉片由不銹鋼制成。這些由墊片環(huán)支撐并精que定位。Macrotorr定子采用自定位的機加工盤(pán)形式,具有泵送通道和受相應轉子盤(pán)限制的開(kāi)口。這些由鋁合金制成。
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Agilent TV903 安捷倫渦輪分子泵保養
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真空泵的使用過(guò)程注意哪些?
1:真空泵在運行過(guò)程中,軸承溫度不能超過(guò)環(huán)境溫度35C,溫度不得超過(guò)80C。
2:真空泵維修保養如發(fā)現真空泵有異常聲音應立即停車(chē)檢查原因。
3:真空泵要停止使用時(shí),先關(guān)閉閘閥、壓力表,然后停止電機
4:真空泵在工作一個(gè)月內,經(jīng)100小時(shí)更換潤滑油,以后每個(gè)500小時(shí),換油一次
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