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Inficon PGD400 配合Inficon PSG500一起，可提供*具經(jīng)濟效益的壓強檢測方案，我們可以選擇測量單位為：Pa, mbar及 Torr, 其中：1Pa=1.0*10-2mbar=7.5*10-3Torr

任何具體物理現象與壓力的關(guān)系，都是在某一壓力范圍內才*顯著(zhù)，超出這個(gè)范圍，關(guān)系變得弱了。因此，任何方法都有其一定的測量范圍，這個(gè)范圍就是真空計的“量程”。盡可能擴展每一種方法的量程，是真空科學(xué)研究的重要內容之一。英?？嫡婵沼嬀S修

在較高壓力時(shí)(105～1Pa)利用壓力差U型管壓力計，麥克勞真空計，薄膜計，彈簧管壓力計等。 在103～10-2 Pa的中間壓力范圍，利用氣體性質(zhì)(熱傳導，粘性)的變化而做成的皮氏計、粘性真空計。在低壓力時(shí)，使用將氣體分子電離而測量的電離真空計

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近代真空技術(shù)所涉及到的壓力范圍寬達19個(gè)數級(105～10-14 Pa)，沒(méi)有任何一種真空計能測量如此寬的壓力范圍，因此總是用幾種真空計分別管轄一定的區域。但由于各種真空計在原理上的差異.在相互銜接的區域，往往要造成較大的誤差。由上觀(guān)之，為改善真空計性能及提高真空測量準確度，必須突出主要現象，抑制寄生現象。表1給出一些真空計的壓力測量范圍。

INFICON（Instruments For Intelligent Control），中譯英?？?，是總部位于瑞士巴德拉加茲的一家專(zhuān)門(mén)研發(fā)、制造及供應半導體和真空鍍膜產(chǎn)業(yè)的儀器、偵測器與控制軟件公司。在制冷、空調、汽車(chē)產(chǎn)業(yè)也提供zhuan業(yè)的氣體泄漏鑒測儀器，用于鑒定及分析有毒化學(xué)物品。

 Inficon 皮拉尼真空計,對應測量范圍 1000mbar---5.0*10-4mbar :

          Inficon PSG500   +  Inficon PGD400

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導熱真空計為何易衰老？答：因熱絲長(cháng)期性運行在持續高溫下，受汽體功效易空氣氧化變窄，或造成熱絲自身結晶體結構轉變，因而會(huì )更改熱絲的電阻器，導致零點(diǎn)的飄移，這也是歸屬于熱絲本身的。熱絲表層因會(huì )吸咐汽體而更改了表層的融入指數，即熱交換器的體制，導致敏感度的轉變。以上均歸屬于衰老狀況。

Inficon UL200氦質(zhì)譜檢漏儀采用Leybold 35LS分子泵，Inficon UL200氦質(zhì)譜檢漏儀*高檢測到up to 5 x 10-10 mbar l s-1.

真空檢漏可分成哪兩類(lèi)？答：可以分成：1）工作壓力檢漏法，包含①打氣檢漏法，②鹵素燈泡檢漏法，③氨檢漏法。2）真空檢漏法，包含①高頻率火苗檢漏法，②真空計檢漏法，③質(zhì)譜儀檢漏法。

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