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旋片式真空泵設備潤滑系統完好,潤滑油質(zhì)符合規定要求,并定期進(jìn)行檢查,換油。各種儀表(如真空表等)指示值正確,并定期進(jìn)行校驗;各閥門(mén)啟閉靈活、密封良好,無(wú)泄漏現象;管道無(wú)泄漏,并定期進(jìn)行檢查。電動(dòng)機配備合理,運行正常(溫升和聲響正常),電氣線(xiàn)路an全可靠,有接地保護措施,電氣裝置(控制柜)可靠,電氣儀表指示正確;安全防護裝置齊全可。設備及冷卻系統設施整潔,無(wú)銹蝕。水環(huán)式真空泵冷卻系統運行正常,冷卻裝置完好,排水溫度不超過(guò)規定要求,應有斷水保護裝置。
一般來(lái)說(shuō)所用的工作液都是水。礦用單軸振動(dòng)篩作用在轉子葉輪上的能量被液體接收并傳給被壓縮的氣體,這樣就造成了水環(huán)的溫度升高。水環(huán)的部分水與氣體一起壓縮排除泵外。在壓縮過(guò)程中產(chǎn)生的大部分熱量被帶走。因而需要不斷的補充新鮮的水,以使水環(huán)泵的工作溫度能夠維持恒定。
電子與微電子工業(yè):微電子技術(shù)要求電子元器件和電路的尺寸越來(lái)越小,集成度要求越來(lái)越高。這與真空技術(shù)的應用密不可分,特別是超大規模集成電路的微細加工技術(shù),其幾何圖形結構的形成、超薄層生長(cháng)技術(shù)、粒子束注入技術(shù)都需要高質(zhì)量、清潔的真空環(huán)境,可見(jiàn)其發(fā)展對真空技術(shù)、裝備的依存性。目前,日本真空廠(chǎng)商的銷(xiāo)售額中60%左右是面向電子工業(yè),而當今的超大規模集成電路大約有3/4的工序需要有真空條件。
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化工泵按輸送介質(zhì)分類(lèi):
1)水泵:包括清水泵、鍋爐給水泵、凝水泵、熱水泵。
2)耐腐蝕泵:包括不銹鋼泵、高硅鑄鐵泵、陶瓷耐酸泵、不透性石墨泵、襯硬膠泵、硬聚氯*烯泵、屏蔽泵、隔膜泵、鈦泵等。
3)雜質(zhì)泵:包括漿液泵、砂泵、污水泵、煤粉泵、灰渣泵等。
4)油泵:冷油泵、熱油泵、潛油泵、油漿泵、液態(tài)烴泵等。
微型抽氣泵實(shí)際是非常精密的儀器,跟普通的民用魚(yú)缸增氧氣泵有很大的不同,完全不具備可比性,價(jià)格比它們稍高也是非常正常的。即使與上常用的微型氣泵比,也要不少。
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抽速定義:在真空泵的吸氣口處,單位時(shí)間內流過(guò)的氣體的體積稱(chēng)為泵的抽氣速率。即氣體A的抽氣速率SA為流量QA除以這種氣體A的分壓力PA而得。一般真空泵的抽氣速率與氣體種類(lèi)有關(guān)。
真空泵維修、抽不到真空泵的極限真空度:首先檢查真空系統的氣密性,看是否有輕微漏氣。其次應打開(kāi)氣鎮,讓泵運行30分鐘左右,來(lái)抽干非泵油污染引起的可壓縮蒸汽,排除可壓縮蒸汽對極限真空度的影響。
筒式牽引級是在圓筒形的轉子或定子的圓柱面上開(kāi)一定斷面形狀的溝槽,如矩形、圓弧形、三角形及其它形狀的多頭螺旋槽。由于簡(jiǎn)式牽引泵型線(xiàn)溝槽開(kāi)在轉子圓柱外表面或泵體內表面上,因此可以充分利用圓柱外圓較高的線(xiàn)速度對氣體分子進(jìn)行動(dòng)量傳遞,提高泵的抽氣效果。在設計制造中,可以通過(guò)改變螺旋溝槽通道與抽氣方向之間的夾角(螺旋升角)來(lái)達到較理想的抽氣效果。
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