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廣州潽拓光電科技有限公司——varian分子泵維修varian瓦里安真空泵維修

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氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵故障及處理

1、儀器界面上TMP顯示“0”即分子泵沒(méi)有工作

有可能是前級壓力過(guò)高(該分子泵的啟動(dòng)壓力為200Pa)導致分子泵無(wú)法啟動(dòng)。檢查導致壓力過(guò)高的項目有：真空規管是否有問(wèn)題，分子泵出口是否打開(kāi)，機械泵油是否太臟或機械泵是否轉動(dòng)，系統是否有泄漏。也有可能是分子泵的葉片或轉子被損害，可自行用工具撥動(dòng)葉片，判斷其能否轉動(dòng)。

分子泵加速指示燈不亮

電路板上的保險絲燒斷，更換保險絲或檢查是否有短路現象。

分子泵故障燈亮

檢查電路板設置開(kāi)關(guān)是否處于R位置，此時(shí)應該在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止，如風(fēng)扇正常，則可能為氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵電源故障。

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檢驗一臺真空泵性能是否穩定，可以從以下【真空度】【抽氣量】這兩個(gè)參數衡量，所謂抽氣，就是它的流量。假設一臺泵是抽氣量是100M3/H，但是工作一段時(shí)間后，只能抽80M3/H了，就是抽氣慢了，從而直接影響到工作效益。真空泵出現抽氣慢，抽不上去的故障原因有很多，每個(gè)環(huán)境工藝會(huì )出現的問(wèn)題也不完全相同。varian TV401 301分子泵維修

螺桿式無(wú)油真空泵，它可包含用于低真空的直排大氣型羅茨真空泵，varian TV401 301分子泵維修，以及用于中高真空的機械增壓泵與多級羅茨真空泵。這里面提到的直排大氣型羅茨真空泵主要是濕式羅茨真空泵和氣冷式羅茨真空泵（多級羅茨真空泵也可直排大氣）。直排大氣型羅茨真空泵為了實(shí)現在常壓下啟動(dòng)，在結構上犧牲真空度，通過(guò)加大轉子間隙、改變轉子結構、加強冷卻等方式實(shí)現在高壓差下運轉（多級羅茨泵則通過(guò)多級轉子串聯(lián)實(shí)現高壓差運轉）。varian TV401 301分子泵維修

磁共振儀的*心部件是射頻線(xiàn)圈,由于高溫超導材料對外界環(huán)境要求非常高,為避免空氣中各種氣體成分,以及雜質(zhì)對其影響進(jìn)而需要分子泵抽真空,一般真空度要求在3*10-7mbar左右.varian TV401 301分子泵維修

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渦輪分子泵抽氣系統。渦輪分子泵可以串聯(lián)干式機械泵組成無(wú)油超高真空系統，不烘烤可以實(shí)現10-6Pa的真空度，經(jīng)烘烤可以達到10-8Pa的真空度。如果串聯(lián)擴散泵作為前級泵，降低前級管道中的氫分壓，配合鈦升華阱可以獲得高于10-9Pa以上的真空度。由于渦輪分子泵內表面積大，因此烘烤除氣是非常必要的，但烘烤溫度一般只允許到100℃左右。進(jìn)口真空泵維修

停止或啟動(dòng)時(shí)發(fā)出巨大噪音

　　原因：電機供電電壓不足；電機缺相運行；泵長(cháng)期未使用，造成腐蝕；泵吸收雜質(zhì)；葉輪拉動(dòng)分配板。

　　故障排除：檢查電源電壓是否過(guò)低；檢查電機接線(xiàn)是否牢固；如果泵長(cháng)時(shí)間不使用，可以添加除銹劑或打開(kāi)泵蓋進(jìn)行除銹；打開(kāi)泵蓋清除雜質(zhì)；調整葉輪和分配板之間的距離。進(jìn)口真空泵維修

  在分子流動(dòng)范圍內（即在壓力低于 10-3毫巴 （0.75 x 10-3Torr）） 氣體分子的平均自由程大于轉子和定子葉片之間的間距（通常為零點(diǎn)幾毫米）。進(jìn)口真空泵維修，相應地，分子主要與光學(xué)致密的轉子葉片碰撞，從而產(chǎn)生高*的泵送作用。在層流（恒定）流量范圍內（即壓力超過(guò) 10-1毫巴 （0.75 x 10-1Torr））轉子的效果因分子本身之間的頻繁碰撞而受損。

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