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氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理是利用氦氣分子在真空中擴散的特性，通過(guò)將氦氣注入被檢測物體內部或周?chē)h(huán)境中，然后使用氦質(zhì)譜儀檢測周?chē)h(huán)境中是否存在氦氣，如果存在，則說(shuō)明被檢測物體存在漏洞或裂縫。因為氦氣分子非常小，能夠穿過(guò)非常小的漏洞或裂縫，因此氦質(zhì)譜檢漏儀能夠檢測到非常小的漏洞或裂縫。同時(shí)，氦氣是一種非常穩定的氣體，不會(huì )與其他物質(zhì)發(fā)生反應，不會(huì )對被檢測物體產(chǎn)生影響。

質(zhì)譜儀要想正常工作，需要真空環(huán)境。至少要在 10-3 mbar 以下，空氣的流動(dòng)才體現為分子流，質(zhì)譜儀才能穩定正常工作。所以檢漏儀中還有一套高真空系統

氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)際上可以說(shuō)是一個(gè)檢氦儀，通過(guò)檢測氦氣的含量來(lái)確定是否有泄漏。而對氦的檢測則使用的是質(zhì)譜儀，是只檢測氦的質(zhì)譜儀，這種質(zhì)譜儀將其它質(zhì)量數的氣體都屏蔽掉了

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噴氦法

這是用于檢測待連接到儀器的設備相對較小部分的zui常用方法，在良好真空后，使用噴在被測設備可能存在泄漏的地方（例如密封接頭、焊縫等）噴射氦氣。如果被測設備的一個(gè)部分存在泄漏，當氦氣噴射到泄漏處時(shí)，氦氣立即被吸入真空系統，當氣體分散到質(zhì)譜儀室中時(shí)，氦氣泄漏檢測器的輸出將立即響應。以這種方式，應當注意，氦是一種輕惰性氣體，在被噴射后自動(dòng)上升，為了準確地將氦噴射到泄漏孔中，應當從上到下和從近到遠（相對于檢漏器位置）噴射氦。此外，泄漏孔與質(zhì)譜儀室的反應時(shí)間不同，因此，氦注入應從靠近檢漏儀的一側開(kāi)始，并從近到遠進(jìn)行。氦質(zhì)譜檢漏儀維護

吸氦法主要用于檢查一些大型密封容器。例如，彈體、tan頭、氣罐、油箱等，首先將容器抽真空，然后填充氦氣（為了節省氦氣量，可以使用低濃度氦氣），將橡膠管連接到氦質(zhì)譜檢漏儀的入口法蘭，橡膠管的前端設有一個(gè)直徑非常小的毛細管，使毛細管在焊縫和待檢充氦容器外壁的密封接頭等處移動(dòng)，如果容器發(fā)生泄漏，泄漏的氦氣將被吸入毛細管，檢漏儀將作出響應。氦質(zhì)譜檢漏儀維護

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inficon 潘寧真空計 peg100 可以提供可靠的高真空測量。堅固耐用的潘寧冷陰極傳感器不會(huì )出現絲極燒毀的現象。 由于采用鈦陰極板且等離子點(diǎn)火后高電壓將會(huì )降低，潘寧真空計還可在濺射應用環(huán)境下運行。 現場(chǎng)總線(xiàn)選件以及對數模擬輸出信號允許使用 profibus dp 或 devicenet 協(xié)議，將真空計輕松集成到真空系統中。

皮拉尼B-A型復合真空計特點(diǎn)

從 5 x 10E-10mbar至大氣壓（3.8 x 10E-10Torr至大氣壓）的很寬廣的測量范圍

10E-8至10-2 mbar壓力范圍內，±5%*秀的重復性，inficon 潘寧真空計 peg100維修

BCG450 10Torr以上壓力測量無(wú)關(guān)氣體組分

皮拉尼聯(lián)鎖保護Bayard-Alpert系統在高壓操作下絲極過(guò)早燒毀和過(guò)度污染

長(cháng)使用壽命氧化釔銥絲，inficon 潘寧真空計 peg100維修

備有可選的圖形顯示器和現場(chǎng)總線(xiàn)接口

高真空/皮拉尼自動(dòng)調節

符合 RoHS 標準

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