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當泵接近極限壓力時(shí)，抽速很低，泵入口處的水開(kāi)始沸騰。當轉至泵的出口時(shí)，形成的氣泡開(kāi)始po裂。這樣就會(huì )產(chǎn)生很大的噪聲，同時(shí)泵的驅動(dòng)輪和泵腔等部件被逐漸破壞。這種現象通常稱(chēng)作氣蝕現象。一旦氣蝕現象發(fā)生，就要通過(guò)小閥引入少量的新鮮空氣。振動(dòng)篦板在這種情況下，在入口官道上開(kāi)個(gè)小孔，以便定量地加入些新鮮的其他，如果使用氣體噴射器，氣蝕現象就不會(huì )產(chǎn)生了。

（三）工作過(guò)程中出口無(wú)壓力或壓力低

泵工作時(shí)，出口無(wú)壓力或壓力低的原因很多。但都不會(huì )在較短的運行時(shí)間內出現故障。根據以前檢修時(shí)發(fā)現，出口排氣閥損壞嚴重，推斷是這個(gè)原因造成的。排氣閥的閥片是一塊1—1.5厚的鐵板，很容易被腐蝕。分子泵保養維修

真空泵保養

1真空技術(shù)應安裝在清理、整潔的自然 環(huán)境里，不適合有臟物、粉塵、水資源，溫度過(guò)高的地區也不宜。

2初次安裝真空泵時(shí)，應查驗電機是不是正轉，也就是電機與泵內電機轉子轉為一致，一般電機上邊標著(zhù)電機一切正常運轉方位。

3長(cháng)期關(guān)機起動(dòng)真空泵前應時(shí)斷時(shí)續數次起到真空泵

4在長(cháng)期性停止使用真空泵時(shí)解決真空泵開(kāi)展加點(diǎn)油解決

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渦輪分子泵內的軸承,是安放在菜的低直空部位的,并有封展擋住,不至使軸承中的潤滑油或脂的蒸氣直接進(jìn)入泵的進(jìn)氣口部分。在泵工作時(shí)，由于對油蒸氣有極高的壓縮比,油蒸氣是很難進(jìn)人高真空區的。但一旦泵停止運轉后,若泵內仍保持真空的話(huà),則這些油蒸氣就容易擴散進(jìn)入高真空區,油蒸氣便沾污了泵的高真空葉輪。為此,在停泵后,必須立即對泵灌以干燥的空氣或氮氣,限止油蒸氣的擴散。日本Osaka大阪真空泵保養中心

渦輪分子泵內各葉輪之間、動(dòng)葉輪與泵壁之間的空隙都只在1mm左右，因此工作時(shí)應嚴格防止異物進(jìn)人泵內。一般允許的雜散磁場(chǎng)約為0.004~0.011T。渦輪分子泵可短時(shí)承受大氣的沖擊,并有啟動(dòng)快、制動(dòng)快、比較潔凈的優(yōu)點(diǎn)。這種泵特別適用于在大排氣量下工作,壓力為10-Pa以上時(shí),泵的排氣量幾乎是恒定的,這時(shí)只與前級泵的大小有關(guān):在這個(gè)范圍內可忽略抽速的不穩定性和潤滑油的返流影響。這些特性恰好是油擴散泵所不具備的。這一特點(diǎn)，對于要求先抽到高真空，然后再在以壓力為0.1~1Pa的真空系統內以連續氣流工作的濺射薄膜沉積來(lái)說(shuō)是十分重要的。

盤(pán)式牽引級是在平板圓盤(pán)平面上按一定規律開(kāi)出數條型線(xiàn)溝槽，然后將數塊圓盤(pán)串接起來(lái)構成，型線(xiàn)有阿基米德螺線(xiàn)、對數螺線(xiàn)、圓弧線(xiàn)等。抽氣時(shí)靠高速轉動(dòng)的圓盤(pán)對氣體分子進(jìn)行'拖動(dòng)'，使其沿溝槽作由內向外及由外向內的往復折回的定向流動(dòng)，從而達到抽氣目的。

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渦輪分子泵的使用要點(diǎn)

1、不能在前級泵工作時(shí)(前級管路接通)和真空室處于真空狀態(tài)時(shí)將渦輪分子泵停掉，否則將會(huì )使油蒸氣迅速從前級管路返流到泵的清潔端。

　　2、分子泵系統在停機充干燥氣體前，一定要先將分子泵冷卻水關(guān)閉，且要從泵的高真空端充氣。決不能從泵的前級管路進(jìn)行充氣。

　　3、選擇系統前級泵的大小時(shí)，應使渦輪分子泵的前級保持在分子流狀態(tài)下。

　　4、不能讓渦輪分子泵在低于額定工作轉速下運行。

　　5、分子泵入口應裝設防護網(wǎng)，以避免異物進(jìn)入泵內損壞泵轉子和定子葉片。

真空不足：

造成真空不足的原因很多，主要有葉片磨損、缸體磨損以及密封性能降低。同時(shí)吸入氣體溫度太高也會(huì )造成真空不足，因此在工藝溫度很高的情況下需加裝冷卻裝置來(lái)冷卻吸入氣體。平時(shí)真空泵油的選用也會(huì )造成真空不足的現象發(fā)生，比如油品不好，造成乳化導致葉片不能進(jìn)行正常做離心運動(dòng)而導致真空度下降。

真空泵下游應用范圍廣泛，為滿(mǎn)足不同市場(chǎng)需求，我國真空泵生產(chǎn)企業(yè)數量眾多。其中大部分企業(yè)規模較小，創(chuàng )新能力較弱，技術(shù)水平較低，產(chǎn)品技術(shù)含量不足，特別是在關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域不具備自主研發(fā)能力。與國際xian進(jìn)企業(yè)相比，我國真空泵行業(yè)整體競爭能力較弱。

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