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廣州潽拓光電科技有限公司——普發(fā)真空泵旋片真空泵維修

分子泵葉片破碎是什么原因造成的呢?

 錯誤操作：比如突然的破真空，因為轉子與靜子葉片之間的空隙非常的小，如果葉片的材質(zhì)比較薄或者比較軟，突然的空氣阻力會(huì )造成葉片變形，這樣可能會(huì )造成轉子靜子之間的摩擦，導致打碎。旋片真空泵維修

油棉污染：油棉變黑，發(fā)黃，建議3-4年更換分子泵油棉，Pfeiffer 復合軸承分子泵內部陶瓷軸承采用油潤滑方式，可以給軸承降溫，減少軸承滾珠磨損并起到清洗分子泵軸承，避免污染物附著(zhù)在軸承上面，有效延長(cháng)分子泵的使用壽命。

由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(cháng)。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱(chēng)之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著(zhù)中國半導體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。shou先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿(mǎn)足不同場(chǎng)合的需要。旋片真空泵維修

擴散泵：以低壓高速蒸汽流（油或gong等蒸汽）作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。氣體分子擴散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的，這種泵適于在分子流狀態(tài)下工作?？煞譃椋?/span>

① 自?xún)艋瘮U散泵：泵液中易揮發(fā)的雜質(zhì)經(jīng)專(zhuān)門(mén)的機械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴散泵，旋片真空泵維修

② 分餾式擴散泵：這種泵具有分餾裝置，使蒸汽壓強較低的工作液蒸汽進(jìn)入高真空工作的噴嘴，而蒸汽壓強較高的工作液蒸汽進(jìn)入低真空工作的噴嘴，它是一種多級油擴散泵。

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水環(huán)真空泵（簡(jiǎn)稱(chēng)水環(huán)泵）是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa，串聯(lián)大氣噴射器可達270~670Pa。水環(huán)泵也可用作壓縮機，稱(chēng)為水環(huán)式壓縮機，是屬于低壓的壓縮機，其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力。渦旋分子泵

擴散泵：以低壓高速蒸汽流（油或gong等蒸汽）作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。氣體分子擴散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的，這種泵適于在分子流狀態(tài)下工作?？煞譃椋?/span>

① 自?xún)艋瘮U散泵：泵液中易揮發(fā)的雜質(zhì)經(jīng)專(zhuān)門(mén)的機械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴散泵

② 分餾式擴散泵：這種泵具有分餾裝置，使蒸汽壓強較低的工作液蒸汽進(jìn)入高真空工作的噴嘴，而蒸汽壓強較高的工作液蒸汽進(jìn)入

低真空工作的噴嘴，它是一種多級油擴散泵。

干式真空泵常見(jiàn)故障：

液體侵入

灰塵堆積

抽取稀有貴重氣體

在極限壓力下運行

不當的溫度波動(dòng)

溫度控制

*抽空

啟動(dòng)泵

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為了解決粗抽造成的返流問(wèn)題，主要是在前級管道中避免分子流態(tài)的發(fā)生，以防油蒸汽返流，當前級管道中達到前級壓力時(shí)，關(guān)閉粗抽閥對粗抽管道內充氣（用一個(gè)充氣閥和一個(gè)可控漏孔），然后關(guān)閉粗抽泵。因而粗抽管道內就不可能出現分子流態(tài)，防止了返流。渦旋分子泵維修保養中心

Pfeiffer HiPace? 1200抽速可達到1,250 L / s N2 小而有力的渦輪分子泵。集成驅動(dòng)電路，適用于工業(yè)環(huán)境，通過(guò)保護等級IP54。集成分子泵控制器 TC 1200 接口 DN200 ISO-K。小巧靈活，可以安裝在任何方向。簡(jiǎn)單可靠的集成系統。對氣體中的灰塵和小顆粒不敏感。

吸咐泵基本原理非常簡(jiǎn)單，多選用活性碳或是活潑金屬來(lái)吸咐腔內的氣體分子結構。而離子泵則是根據髙壓充放電，將氣體弱電解質(zhì)，隨后弱電解質(zhì)的氣體會(huì )歷經(jīng)靜電場(chǎng)、電磁場(chǎng)功效吸咐在由金屬鈦組成的負極板上。再加上這二者的協(xié)助，我們可以做到10-9Pa的真空泵，這早已是一個(gè)大氣壓的一百萬(wàn)億分之一。這早已做到了極高真空泵的范圍，足夠考慮大部分科學(xué)試驗的規定了

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