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濺射離子泵無(wú)油超高真空系統。此系統是獲得清潔超高真空的主要手段，可以獲得10-9Pa的真空度，一般由濺射離子泵、鈦升華泵與分子篩吸附泵或者是與渦旋泵、液氮阱等共同組成，可以獲得清潔的無(wú)油超高真空系統。由于濺射離子泵的啟動(dòng)壓力在1Pa以下，而且對有機蒸汽敏感，因此在使用時(shí)需要對其進(jìn)行*底的烘烤除氣，并用預抽泵抽走烘烤釋放出的氣體。

  在安裝泵之前，應在進(jìn)氣口和出氣口打開(kāi)的情況下檢查電機旋轉方向。從電機端看，驅動(dòng)軸應逆時(shí)針旋轉。注意電機或外殼上指示旋轉方向的箭頭。如果電機轉向錯誤，可以通過(guò)在電機連接端子塊上互換兩相來(lái)糾正。

  電機功率、轉速是和真空泵相匹配的，不能更改。風(fēng)扇安裝于電機主軸上，電機轉速決定了風(fēng)扇轉速，也不可更換。增加風(fēng)扇葉片數量雖能起到一定作用，但葉片數量增加后，動(dòng)平衡不容易找，如找正不好，會(huì )引起電機振動(dòng)增加

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真空是指在給定的空間內低于一個(gè)大氣壓的氣體狀態(tài)或稀薄的氣體狀態(tài)，可分為低真空、中真空、高真空、極高真空。真空泵是使用*廣泛的真空獲得設備。真空泵維修服務(wù)公司

因此為保證羅茨真空泵能達到較高真空度，需保證羅茨真空泵轉子及與泵腔之間的間隙。所以大部分中高真空羅茨真空泵使用時(shí)必須配備前級泵，利用前級泵將系統內壓力抽至一定范圍，再啟動(dòng)羅茨真空泵，保證合理范圍內的出入口壓差，這樣就可以避免羅茨真空泵因高壓差而導致過(guò)載。真空泵維修服務(wù)公司

真空泵抽不出液體

　　1、沒(méi)有灌注液體？

　　答：重新灌真空泵

　　2、吸入管、出管或真空泵的流道堵塞？

　　答：消除雜物

　　3、吸入管或真空泵內沒(méi)有排凈氣體？

　　答：檢修吸入管路并排凈氣體

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廣州潽拓光電科技有限公司——varian  真空渦輪分子泵維修

羅茨真空泵（增壓型）必須和前級真空泵（單級旋片真空泵，油封液環(huán)真空系統，等干式粗低真空泵串聯(lián)使用如：雙級或多級爪型泵，或直排大氣的預冷型羅茨泵等）真空渦輪分子泵維修

羅茨真空系統將獲得比前級泵更髙的抽速和更低的極限壓力。

正確的前級泵的選擇取決于不同的應用，主要的因素有以下幾個(gè)：

1.    所需的抽速和和極限壓力，真空渦輪分子泵維修

2.    被抽氣體的性質(zhì)（是否可凝性，*燃*爆，腐蝕性等）

3.    真空系統的清潔度

隨著(zhù)真空應用的發(fā)展，真空泵的種類(lèi)已發(fā)展了很多種，其抽速從每秒零點(diǎn)幾升到每秒幾十萬(wàn)、數百萬(wàn)升。隨著(zhù)真空技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對其應用壓強范圍的要求越來(lái)越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣后才能滿(mǎn)足生產(chǎn)和科學(xué)研究過(guò)程的要求，由于真空應用部門(mén)所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類(lèi)型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類(lèi)型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過(guò)程的需要，有時(shí)將各種真空泵按其性能要求組合起來(lái)，以機組型式應用。真空渦輪分子泵維修

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